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探针台 P-150


样品台材质:铝合金、PTFE、陶瓷(可选)
样品台尺寸:6 英寸
独立控制真空吸附,中心吸附孔,三圈吸附环
样品台电学独立悬空,可做背电极使用
样品台可 360 度旋转,可±5 度精细微调
样品台可 0~10mm 精细升降
样品台 X-Y 位移范围:78mm*65mm
针座平台C 型设计,可放置 4~6 个探针座
整体:520mm 长*400mm 宽*500mm 高
重量:约 45 千克