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探针台 T-150M 双层位移


样品台材质:铝合金、PTFE、陶瓷(可选)
样品台尺寸:6 英寸,8 英寸(可选)
独立控制真空吸附,中心吸附孔,三圈吸附环
样品台电学独立悬空,可做背电极使用
样品台可 360 度旋转,可±5 度精细微调
样品台可 0~10mm 精细升降
样品台 X-Y 位移范围:100mm*90mm(双层位移)
针座平台C 型设计,可放置 4~8 个探针座
整体:520mm 长*578mm 宽*600mm 高
重量:约 60 千克